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  1. Einführende Beiträge zur Mikrolithografie
    Tagungsband der Frühjahrsschule "Elektronenlithografie"
    Autor*in:
    Erschienen: 1982
    Verlag:  Abt. Wiss. Publ. d. Friedrich-Schiller-Univ., Jena

    Staats- und Universitätsbibliothek Bremen
    gv 9382
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Technische Universität Chemnitz, Universitätsbibliothek
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universitätsbibliothek Clausthal
    83 A 651
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Sächsische Landesbibliothek - Staats- und Universitätsbibliothek Dresden
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universitätsbibliothek Freiburg
    TM 82/3586
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Niedersächsische Staats- und Universitätsbibliothek Göttingen
    83 A 25827
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt / Zentrale
    82 A 8400
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Technische Universität Hamburg, Universitätsbibliothek
    2440-5380
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek
    FF 3441
    keine Ausleihe von Bänden, nur Papierkopien werden versandt
    Universitätsbibliothek Ilmenau
    82 A 1629
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Wissenschaftliche Bibliothek
    53.54-98/27658
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Thüringer Universitäts- und Landesbibliothek
    82 A 2697
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Badische Landesbibliothek
    82 A 14038
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universitätsbibliothek Kiel, Zentralbibliothek
    Da 366
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universitätsbibliothek Leipzig
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universitätsbibliothek Mannheim
    NC 4263
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Leibniz-Zentrum für Zeithistorische Forschung Potsdam, Bibliothek
    8935 (82,2)
    keine Fernleihe
    Leibniz-Zentrum für Zeithistorische Forschung Potsdam, Bibliothek
    8935 (82,2)a
    keine Fernleihe
    Universitätsbibliothek Rostock
    82 A 2447
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
    83-4294
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Landesbibliothek Mecklenburg-Vorpommern Günther Uecker im Landesamt für Kultur und Denkmalpflege
    18 A 2909
    Universitätsbibliothek Stuttgart
    3E 2275
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Württembergische Landesbibliothek
    32/14121
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Universität Ulm, Kommunikations- und Informationszentrum, Bibliotheksservices
    TK 7874/1981 P
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Klassik Stiftung Weimar / Herzogin Anna Amalia Bibliothek
    104822 - A
    keine Fernleihe
    UB Weimar
    77 348/2
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    UB Weimar
    77 348/3
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
    Hochschule Wismar, University of Applied Sciences: Technology, Business and Design, Hochschulbibliothek
    1983 A 1632
    uneingeschränkte Fernleihe, Kopie und Ausleihe
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    Quelle: Herzogin Anna Amalia Bibliothek
    Sprache: Deutsch
    Medientyp: Buch (Monographie)
    Format: Druck
    RVK Klassifikation: UX 2150
    Schriftenreihe: Wissenschaftliche Beiträge der Friedrich-Schiller-Universität Jena ; 1982
    Schlagworte: Lithography, electron beam; Microelectronics; Electron beams
    Umfang: 232 S, Ill., graph. Darst
    Bemerkung(en):

    Literaturangaben